4、关于硅压阻式传感器(SPRT)误差
校准SPRT传感器的主要困难在于它们的误差幅度范围很宽,采用不同工艺生产的SPRT传感器具有不同类型的误差和误差范围。甚至由同一个制造商提供的同一型号传感器的误差幅度,两者之间也会有轻微的差异。SPRT传感器的误差因素包括:满偏信号随温度变化的强烈非线性(高达1%oK);很大的初始失调(可至满偏的100%或更高)以及失调随温度的强烈漂移等。在一定限度内,这些缺陷可以由电子电路加以补偿。
一定温度下,图2(a)(b)所示的两种类型SPRT桥路电阻(Vcc和地之间的等效电阻)能够在很宽的压力范围内保持相当的恒定,然而,随着温度的上升,桥路电阻显著增加,如果电桥由恒流源驱动,桥路电压(指Vcc和地之间的等效电阻与恒流源输出电流的乘积)就会增加。当桥路电压随着温度的升高而增大时,则SPRT灵敏度也随之升高。
另一方面,如果保持桥路电压恒定,SPRT的压力灵敏度又会随着温度的升高而降低。因此,SPRT的压力灵敏度受两种互相对立的因素影响:温度和受温度影响的桥路电压。这种桥路电阻或桥路电压的变化可以彼现代信号调理电路IC加以利用,来校正SPRT灵敏度在温度范围内的误差。值得一提的是,此类信号调理电路IC均可通过桥路电阻的变化来校正灵敏度随温度的改变。根据SPRT产生误差的主要因素的分析,便可有的放矢地进行校正与补偿。以下将对目前常用的传统校正与现代校正及简化补偿方法作介绍。
5、传统校正方法
图3电路为传统校正方案

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